Информация о продукте
| Примеси | NF3≥99,995% об.% | NF3≥99,99% об.% | NF3≥99,98% об.% | NF3≥99,9% об.% |
| CF4 | ≤20 об.ppm | ≤40 об.ppm | ≤100 об.ppm | ≤500 об.ppm |
| N2 | ≤5 об.ppm | ≤5 об.ppm | ≤10 об.ppm | ≤50 об.ppm |
| О2+Ар | ≤3 об.ppm | ≤5 об.ppm | ≤10 об.ppm | ≤50 об.ppm |
| СО2 | ≤1 об.ppm | ≤5 об.ppm | ≤10 об.ppm | ≤10 об.ppm |
| H2O | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm |
| HF | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm | ≤1 об.ppm |
| SF6 | ≤1 об.ppm | ≤2 об.ppm | ≤2 об.ppm | ≤25 объемных частей на миллион |
| Н2О | ≤1 об.ppm | ≤5 об.ppm | ≤10 об.ppm | ≤10 об.ppm |
| CO | ≤0,5 об.ppm | ≤5 об.ppm | ≤10 об.ppm | ≤10 об.ppm |
Упаковка
| Продукт | Трифторид азота NF3 Жидкий | |
| Размер посылки | 44-литровый баллон | 440-литровый баллон ISO-бак |
| Заполнение Вес нетто/цилиндр | 20 кг | 200 кг |
| КОЛ-ВО, загруженное в 20-футовый контейнер | 200 цилиндров | 20 цилиндров |
| Общий вес нетто | 4 тонны | 4 тонны |
| Вес тары цилиндра | 50 кг | 240 кг |
| Клапан | CGA/ДИСС640 | |
