Dettagli del prodotto
| Impurità | NF3≥99,995% Vol.% | NF3≥99,99% Vol.% | NF3≥99,98% Vol.% | NF3≥99,9% Vol.% |
| CF4 | ≤20 Vol.ppm | ≤40 Vol.ppm | ≤100 Vol.ppm | ≤500 Vol.ppm |
| N2 | ≤5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| O2+Ar | ≤3 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤50 Vol.ppm |
| CO2 | ≤1 volume ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| H2O | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm |
| HF | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm | ≤1 volume ppm |
| SF6 | ≤1 volume ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤2 Vol.ppm | ≤25 Vol.ppm |
| N2O | ≤1 volume ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
| CO | ≤0,5 Vol.ppm | ≤5 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm | ≤10 Vol.ppm |
Pacchetto
| Prodotto | Trifluoruro di azoto NF3 liquido | |
| Dimensioni del pacchetto | Bombola da 44 litri | Bombola da 440 litri Serbatoio ISO |
| Peso netto riempimento/cil | 20Kg | 200Kg |
| QTÀ caricata in un contenitore da 20' | 200 cil | 20 Cil |
| Peso netto totale | 4 tonnellate | 4 tonnellate |
| Tara del cilindro | 50Kg | 240Kg |
| Valvola | CGA/DISS640 | |
