Spécification de produit
| Article | Indice | ||
| CF4, ％（V/V）≥ | 99.999 | 99.995 | 99,99 |
| N2, dix-6(V/V) ≤ | 4 | 20 | 40 |
| O2, dix-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO2, dix-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| CO, 10-6(V/V) ≤ | 0,3 | 0,5 | 1 |
| SF6, dix-6(V/V) ≤ | 1 | 1 | 5 |
| H2O, 10-6(V/V) ≤ | 1 | 5 | 10 |
| HF, 10-6(V/V) ≤ | 0,1 | 0,3 | 0,3 |
| TFC(CH2F2、CHF3、C2F3、C3F8),dix-6(V/V) ≤ | 1 | 10 | 30 |
| ppm (V/V) ≤ | 10 | 50 | 100 |
| Numéro de cylindre | POINT/48,8 L | POINT/47L | 40L | 10L | 4L |
| Numéro de vanne | CGA580, CGA590, CGA320, DISS716 | ||||
