غرض

فِهرِس

CF₄, ％(V/V)≥

99.999

99.995

99.99

N₂, 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

4

20

40

O₂, 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

1

5

10

CO₂, 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

1

5

10

كو، 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

0.3

0.5

1

SF₆, 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

1

1

5

H₂او، 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

1

5

10

اتش اف، 10^-6(الخامس/الخامس) ≥

0.1

0.3

0.3

تفك (CH₂F₂、الفرنك السويسري₃、ج₂F₃、ج₃F₈) ,10^-6(الخامس/الخامس) ≥

1

10

30

جزء في المليون (V/V) ≥

10

50

100